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产品资料
微波等离子体化学气相沉积系统MPCVD
简介:

产品详情

        左文科技的核心竞争力是依托于其**的MPCVD设备技术与持续的科研**能力,设备采纳了行业前沿的技术与工艺,注重对金刚石材料生长过程的一致性和重复性的精准把控,从而确保设备的**性能和金刚石的优良品质。自创立之初,我们便专注于碟形腔MPCVD设备的研发与量产化进程,历经五年时光与上百台设备的持续生产验证及迭代升级,如今在2.45GHz频段已成功量产6kW、10kW及15kW的MPCVD设备,并正积极测试915MHz频段的大功率设备。

       在金刚石材料工业应用领域,左文科技凭借深入的研究与实践,开发出了一系列适应于刀具、热沉片、光学窗口、半导体材料等多个领域的先进应用工艺。

       在金刚石材料珠宝应用领域,我们目前能够量产20克拉以上的无色、蓝色、粉色及黄色等多种颜色的裸钻,毛坯尺寸覆盖7mm×7mm至20mm×20mm,重量则从4克拉跨越至30克拉,并正致力于50克拉钻石毛坯的量产化工艺开发。


应用领域:


  • 珠宝级钻石
  • 功率半导体
  • 复合热沉片
  • 精密刀具刀头
  • 高纯度电化学电极
  • 红外光学窗口
  • 量子传感器/NV色心量子器件
  • 高增益激光器
  • 纳米金刚石材料
  • 第四代半导体材料

系统参数:

 

型号

ZW-06SA-6KW

ZW-10MKS-10KW/15KW

微波电源功率

2.45GHz  6KW

2.45GHz 10KW/15KW

反应腔

掀盖式铝制碟形腔

掀盖式铝制碟形腔

输入气路

标准四路气路(可选配加装至六路)

标准四路气路(可选配加装至六路)

生长台类型

水冷式不锈钢生长台,铜散热底盘

水冷式不锈钢生长台,铜散热底盘

衬底沉积台

*大支持2.36英寸、60mm直径圆台面 积稳定沉积

*大支持3.15英寸、80mm直径圆台面积 稳定沉积

系统真空密封性

(氦质谱检漏仪测)

真空度(氦检)<5x10`Pa.m3/sec

真空度(氦检)<5x101Pa.m3/sec

真空泵类型

真空油泵18m3/h(50hz)(选配)

真空油泵18m3/h(50hz)(选配)

工作压力范围

工作作压力:10-300Torr

工作作压力:10-300Torr

温度计

双波红外温度计(500-1475℃),可选红外 成像温度计

双波红外温度计(500-1475℃),可选红外 成像温度计

控制系统

PLC控制系统,自动控制人机交互操作界面

PLC控制系统,自动控制人机交互操作界面

观察窗

标配两个侧观察窗, 一个顶观察窗

标配两个侧观察窗, 一个顶观察窗

输入电源

380V,三相五线

380V,三相五线

输入水压及流量

水压小于5bar,流量6L/M以上

水压小于5bar,流量9L/M以上

系统设备尺寸

系统设备尺寸160cmx90cmx100cm

系统设备尺寸160cmx90cmx100cm

重量

350KG

400KG





设备优势:

◆超过1万小时的生产运行,三年批量用于生产验证,可量 产白色及彩色钻石的粗坯

◆反应可控,起辉位置固定,稳定输出功率

◆等离子体远离石英窗口

◆采用不锈钢台及铜散热底盘,可耐高温

◆铜底盘沉积物更容易清理

◆采用水冷高效散热设计,*大散热功率达12KW

◆高可靠性,高实验重复性,高耐久性

◆可高度自动化控制的软件系统

◆采用上掀盖设计,易于清洗及快速二次生长





系统特点:

◆稳定的沉积面积,钼生长台直径50-80mm

◆支持微波电源功率6KW/10KW/15KW

◆使用纯净石英窗口

◆采用不锈钢台,可耐高温

◆高压力控制,可产生高密度单模式等离子体

◆使用高精度气体质量流量计,高可靠性稳定的压力控制系统

◆稳定的微波源输入,包括 Sairem,Mugee,MKS   Instrument 等电源

◆可采用电机升降及功率压力比例智能自动控制生长温度

◆具有**互锁机制,可自动触发并处理风险

      





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