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产品资料
方腔式电子束蒸发镀膜设备
简介:

Temescal电子束蒸发系统是为更高效率、高精准镀膜产能而设计的物**相沉积生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。Temescal经典系列系统符合人体工程学设计,具备强大的生产能力和高均匀性。

产品详情

FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统,专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计,并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”(965mm),而FC-4400的源基间距为42”(1067mm)。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装,也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。




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