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产品资料
电子束蒸发设备BJD/FC-2000
简介:

Temescal电子束蒸发系统是为更高效率、高精准镀膜产能而设计的物理气相沉积生产型设备。这个指导原则支配着Temescal整个产品线的设计思想。Temescal经典系列系统符合人体工程学设计,具备强大的生产能力和高均匀性。

产品详情

Temescal的FC-2000和BJD-2000系统式通用型电子束蒸发镀膜设备,通过选用不同的附件配置,适合绝大多数沉积应用要求,除了高效运行和兼容洁净室的特点,该系统还具有极强的灵活性,以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统,可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。而BJD-2000系统则没有真空锁结构。



产品性能:


  • 腔室类型:Bell jar
  • 低温泵型号及抽速:CT-8,4000L/s
  • 典型抽真空时间:到达1E-6Torr抽气时长小于15min
  • 电子束蒸发源可安装数量:4X25cc Poptop +1 fixed pocket
  • 电子枪电源:6kw 或 12kw
  • 离子源(选配):MKI filament
  • 晶圆装载量(lift-off):42X2“,13X100mm
  • 源基间距:19.5”(标准),27.5”(加长)
  • 腔室观察窗:4"广角
  • 均匀性修正板:1个固定式
  • 可拆卸的不锈钢护甲:是
  • 可升降的双向旋转的源托架:是
  • 所有接触真空环境的设备表面:304不锈钢



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